發(fā)布時(shí)間: 2017-06-21 點(diǎn)擊次數(shù): 2314次
百級(jí)無(wú)塵烘箱測(cè)控系統(tǒng)及安全保護(hù)措施
百級(jí)無(wú)塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影
后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非
易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
百級(jí)無(wú)塵烘箱測(cè)控系統(tǒng)及安全保護(hù)措施:
1、控制儀表:進(jìn)口數(shù)顯溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃;
2、溫度測(cè)量傳感器:Pt100鉑電阻;
3、控制系統(tǒng):主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進(jìn)口元?dú)饧?/div>
4、超溫保護(hù)儀表:獨(dú)立于工作室主控制的超溫保護(hù)系統(tǒng),保證試驗(yàn)品的安全;
百級(jí)無(wú)塵烘箱產(chǎn)品特點(diǎn)
●結(jié)構(gòu)材料:內(nèi)外全部采用SUS304#不銹鋼板制作無(wú)塵無(wú)污染,耐酸堿腐蝕環(huán)保,美觀大方
●保溫材料:使用高密度進(jìn)口巖棉,雙層保溫層,爐門(mén)采用高溫硅膠緊迫,保溫、密封性能好。
●溫控系統(tǒng):采用RKC智能型溫控器PID自動(dòng)演算,配合SSR固態(tài)斷電輸出,確??刂茰囟?。
●運(yùn)風(fēng)方式:左出風(fēng),右邊回風(fēng)循環(huán);特殊風(fēng)道設(shè)計(jì),爐內(nèi)溫差均勻性好。
●安全裝置:電機(jī)過(guò)載保護(hù),漏電保護(hù),相序保護(hù),雙重防超溫保護(hù)裝置;所有發(fā)熱管與爐體外殼隔絕緣保證設(shè)備使用安全。